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pecvd 增强型化学气相沉积

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pecvd 增强型化学气相沉积

pecvd 增强型化学气相沉积

下面我们郑州邦达电气有限公司为您介绍关于pecvd 增强型化学气相沉积说明。

pecvd 增强型化学气相沉积

详细介绍

产品介绍


BTE-PECVD是我公司研发的一款单温区的PECVD管式炉系统,它是由射频电源系统,加热系统、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个很好的实验帮手。

产品特点


1.该设备生长温度更低
2.使用滑轨炉实现快速升温和降温,沉积速率快
3.设备辉光均匀等效,均匀生长,成膜质量好
4.支持外部真空规和压力变送器
5.支持智能进气,根据需要设定不同的温度,自动进气,进气定时间到后自动停止进气
6.支持云端数据存储,随时查看数据
7.支持炉膛移动速度调节
8.支持射频电源根据外部工况条件自动启动停止
9.支持压力恒定,压力可以设定
10.支持超压保护,最大压力值可以设定,超过后系统自动进入保护状态
 

设备参数

 
型号 最高温度℃ 炉膛尺寸mm 整机功率KW 射频电源 流量计 流量计
BTE-PECVD1200-Ⅰ 1200 80*2000 4 射频电源:300W 质子流量:3路 真空系统:TRP-12,3l/s真空测量:0.01Pa-200Kpa
系统真空度:5Pa
BTE-PECVD1200-Ⅱ 1200 80*2000 4 质子流量:3路
BTE-PECVD1200-Ⅲ 1200 80*2000 6 射频电源:500W 质子流量:4路